第一部分：真空管式滑轨炉
该滑轨该滑轨炉是依据特定工艺需求，在开启式真空管式炉的基础上研发而成，实现了控制单元与炉膛的一体化集成。炉是依据特定工艺需求，在开启式真空管式炉的基础上研发而成，实现了控制单元与炉膛的一体化集成。
型号 | LFT1200C 400D50II SL |
额定功率 | 3KW |
额定电压 | AC220V 50/60HZ |
最高温度 | 1200℃ |
额定温度 | 1100℃ |
推荐升温速率 | 10℃/min |
炉管尺寸 （可根据客户要求定制） | Φ50×1400mm |
炉膛尺寸 | Φ240/120*550mm |
外形尺寸（长×深×高） | 630*420*530 mm（炉体） 1800*530*610 mm（滑轨含法兰支架） |
控温精度 | ±1℃ |
极限真空度（选件） | 1.0×10-3Pa（机械泵+分子泵） |
加热元件 | 电阻丝 |
重量 | 约100KG |
客户自配装空气开关 | 25A |
第二部分：低真空系统LVU-10
LVU-10是一套低真空机组，其极限真空度为10-1Pa，内部安装有双级旋片机械泵DRV-10配套使用，其接口为KF25，并配有真空连接管路一套，电阻真空计ZDR-I和连接管道接头等。
移动架 | 壳体尺寸:600m(L)x700mm(W)x700mm(H) 带有4个滑动轮 |
电压/频率 | 220V/50-60Hz |
真空泵抽气速率 | 10m³/h 极限真空:10-1Pa 容油量:1.1L |
第三部分：质量流量计供气系统
两种（或多种）气体，由气体钢瓶经减压阀减压至所需压力（≤0.05MP）输入到气体混合配比器，再通过调节每一组分的体积流量，输出预定比例关系的混合气体，达到实验所需求的气氛。
外形尺寸 | 600*800*700mm |
重量 | 约50kg |
气路 | 5路（50sccm、200sccm、500sccm.500sccm、500sccm） |
电源 | 220V |
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