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薄膜材料制备

更新时间:  2024-04-23

产品型号:  LFT1400C 300D602ZLV CVD

产品报价:  

所  在  地:  合肥市新站区颖河路22号

产品特点:  薄膜材料制备广泛用于:真空或气氛烧结、基片镀膜等要求加热温度较高的实验环境。该设备技术成熟、质量可靠,温场均匀,结构合理,法兰以卡箍密封,安装拆卸简便快捷,是各大材料实验室的理想设备之一。

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产品概述

一、设备特点:

薄膜材料制备广泛用于:真空或气氛烧结、基片镀膜等要求加热温度较高的实验环境。该设备技术成熟、质量可靠,温场均匀,结构合理,法兰以卡箍密封,安装拆卸简便快捷,是各大材料实验室的理想设备之一。

1、保温材料采用真空吸附成型的纯氧化铝纤维无机材料,不含污物,洁净,美观。

2、采用模糊PID控制精准控制,温场均匀,烧结成品一致性好。

3、炉体采用双层风冷机构,炉子烧到最高温度时,壳体表面温度低于60度。

4、炉膛材料:高纯氧化铝多晶纯纤维,不参氧化铝粉,洁净节能。

二、技术参数:

名称

规格

单温区真空管式炉CVD系统  

单温区真空管式炉

炉管尺寸

Φ60×1000mm 更多其他规格刚玉管可选(Φ50/60/80/100mm等)

主要参数

最高温度: 1400℃

工作温度: 1300℃

推荐升温速率:≤10℃/min

加热区长度: 300mm

额定功率:4KW

电压:单相AC 208 - 240V, 50Hz

炉体结构

双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C

高纯状氧化铝纤维绝缘层,最大限度节约能源

炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命

温控系统

模糊PID控制和自整定调节功能

智能化30段可编程控制

具有超温及断偶报警功能

控温精度: ±1 ℃

S型热电偶

可安装PC控制软件对数据进行实时采集(需另购)

 

温控仪表(可选)

标配仪表品牌为宇电,可选定其他品牌温控仪表,如岛电等。

管堵

多种规格管堵,防止来自内部管子的热辐射,管堵在加热前必须放入炉腔。

密封系统

炉管两端配有不锈钢密封法兰。(包括精密针阀、指针式真空压力表、软管接头)

如需获得较高的真空度,建议采用不锈钢波纹管连接及数显真空计(需另外订购)

备注:本公司标配法规格如下进气端Φ6卡套接口,可连接Φ6不锈管或者聚四氟管。

出气端预留KF25接口,方便连接真空泵,KF16接口,方便连接数显真空计,以及Φ9气嘴接头,以便出气

扩展端口

如进气管道为橡胶软管,则需将进气口更换成Φ9气嘴接头

真空度

双极旋片机械泵:10^-1Pa

分子泵机组:10^-3 Pa

可选配本公司配套高低真空

二路质量流量控制系统

MFC-2Z

电压

220VAC  单相  50/60Hz

针阀材质

316不锈钢

量程

50sccm、100sccm(可根据工艺要求提供多种量程选择)

工作温度

5~45℃

外型尺寸

600(L) x 600(W) x 750(H) mm

电压

AC220V/50Hz单相

功率

23W

真空系统

LVU-10

壳体尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

最大承载量

1000 Lbs

抽气速率

10m³/h

极限真空度:10-1Pa

双层立式油污过滤器(PE材质)与真空泵连接

质保期

一年保修,终身技术支持。

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

相关应用

炉膛内衬可以单独更换(额外付费)

可以根据要求设计成带有滑动法兰的炉子

应用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

石英管的长时间使用温度<1100℃

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)


 

 

 

 

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