该系统为 PECVD系统，它包括真空管式炉系统、石英真空室、真空抽气与真空测量系统、气路系统、射频电源系统、匹配器，温度范围宽：100-1100度可调。适用范围宽:金属薄膜，陶瓷薄膜等，复合薄膜，连续生长各种薄膜等。

1、迷你开启式真空管式炉

技术参数：

炉管尺寸：Φ50×700mm

加热元件：电阻丝

加热区长度：230mm

恒温区长度：100mm

工作温度：1100℃

最高温度：1200℃

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度:±1℃

推荐升温速度：20度/分钟

最快升温速度：100度/分钟

炉门结构：开启式

工作电源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

额定功率：2KW

同时将电控单元和加热部分分离，并在加热部分下端安装有凸轮连杆驱动装置，可实现炉体在加热情况实现上下摇摆，达到混合物料的功能。

2、射频电源 PE-100W

信号频率 13.56 MHz±0.005%

功率输出范围 0W-100W

最大反射功率 30W

射频输出接口 50 Ω, N-type, female

匹配模式 手动匹配

功率稳定度 ≤2W

谐波分量 ≤-50dbc

供电电压 单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率 >=70%

功率因素 >=90%

冷却方式 强制风冷

3、2路质量流量计供气系统MFC-2Z

设备特点：

该设备为一个气路集成，气体经过减压阀减压后，连接到气体质量流量计上，经过流量控制后的气体进入到内置混气罐内(可单独气体进气，也可以多路气体预混合)，再由出气阀门连接到加热设备，该设备可为实验数据提供原始数据记录，也为实验条件重复性提供数字参考。 全进口操作和控制系统，大大提升了设备的控制性能。

外形尺寸：600x600x650mm

连接头类型：Φ6双卡套不锈钢接头。

标准量程(N2)：100sccm，200sccm (具体气体量程 可根据工艺要求配置，需提前沟通确定)

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：

气特性：1～4 Sec

电特性：10 Sec

工作压差范围：0.1～0.5 MPa

最大压力：3MPa

接口：Φ6.1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：-0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀：Φ6

4、低真空机组

LVU-10是一套低真空机组，其极限真空度为10-1Pa， 内部安装有双级旋片机械泵DRV-10配套使用，其接口为KF25.并配有真空连接管路一套，电阻真空计ZDR-I和连接管道接头等。

技术参数

移动架 壳体尺寸:600mm(L)x600mm(W)x700mm(H)

带有4个滑动轮

最大承重量：1000 lb

电压/频率 220V/50-60 Hz

真空泵抽气速率 10m³/h

极限真空:10-1Pa

容油量：1.1L

电阻真空计ZDR-I 测量范围 1.0×105Pa-1.0*10-1pa

控制范围 5.0×103pa—5×10-1Pa

控制方式 继电器触点输出，负载能力AC220V/3A

测量路数 1路(可扩展至2路)

DIANYUAN 90-260V/50HZ或220V±10% 50HZ

额定功率 ≤20W

配接规管 ZJ-52T

显示方式 LCD数显

数据电缆长度 2米

面板尺寸 96mm×96mm

波纹管 规格：KF25*1200mm

挡板阀 高真空专用不锈钢阀门 连接口：两个KF25接口