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CVD化学气相沉积系统

更新时间:  2018-09-10

产品型号:  

产品报价:  

所  在  地:  合肥市新站区颖河路22号

产品特点:  设备描述:CVD化学气相沉积多通道质量流量控制系统一款多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜Z大可以承重1000Lbs,所以在与本公司大多数管式炉配套使用时,可将设备置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一个7“的触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。

(联系我时,请说明是在化工仪器网上看到的信息,谢谢!)
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产品概述

CVD化学气相沉积系统技术参数

名称

双通道

三通道

四通道

五通道

CVD化学气相沉积多通道质量流量控制系统质量流量控制器

工作温度:5~45ºC
zui大压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性:±(0.5-1.5)%F.S

重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度:5~45 ºC
zui大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±(0.5-1.5)%F.S
重复精度:±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度:5~45 ºC
zui大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±(0.5-1.5)%F.S.

重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度: 5~45 ºC
zui大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±(0.5-1.5)%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制

输入电源

        AC 220V/50Hz单相

功率

        23W

PLC触摸屏

·  CVD化学气相沉积多通道质量流量控制系统各通道的气路设定和查看都集中在一个7"的触摸屏上 

· RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上,进行远程控制

  

机械压力表

·  有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接

·   量程:-0.1~0.15 MPa 

针阀

316 不锈钢

通气管道

·  内部连接管道为Φ不锈钢管 

·  外部通气管道为Φ聚四氟管

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

·316不锈钢针阀 

 Φ6mm 不锈钢管

外形尺寸

 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

质量认证

CE认证

质保期

一年质保期,终身维护


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