石墨烯薄膜制备设备技术参数
双温区滑轨炉LFT1200C-II 200D50 | 炉体结构 | 石墨烯制备设备双温区滑轨式CVD系统采用双层壳体并带有风冷系统,使其炉体表面温度都小于55℃ 炉底安装一对滑轨,可手动滑动,以便满足特殊工艺的快速升降温的要求。 |
炉管尺寸 | Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。) | |
功率 | 5kW | |
输入电压 | 220VAC 单相 50/60Hz | |
加热元件 | Cr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金) | |
温度 | 温度:1200℃ 额定温度:1100℃ | |
升温速率 | ≦10℃/min(推荐) | |
加热区长度度 | 两个加热区的长度都是200mm 分别由独立的温控系统控制 | |
恒温区长 | · 100+100mm(±1℃) ·可获得较长恒温区间 | |
控温精度 | · ±1℃ | |
快速连接法兰 | · Φ50快结式不锈钢真空法兰 · 打开法兰直接卸下卡箍即可,取放样品方便 | |
预热炉 | 功率 | · 1kw |
加热区 | · 100mm | |
温度 | · 1200℃ | |
工作温度 | · 200-800℃(可根据实际工艺需求调整) | |
五路质子流量控制系统 MFC-5Z | 电压 | 220VAC 单相 50/60Hz |
针阀材质 | 316不锈钢 | |
量程 | 50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根据工艺要求提供多种量程选择) | |
工作温度 | 5~45℃ | |
外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H) mm | |
电压 | AC220V/50Hz单相 | |
功率 | 23W | |
真空系统 LVU-10 | 壳体尺寸 | · 600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
最大承载量 | · 1000 Lbs | |
抽气速率 | · 10m³/h · 极限真空度:10-1Pa · 双层立式油污过滤器(PE材质)与真空泵连接 | |
质保期 | 一年质保期,(相关耗材除外,如炉管,密封圈加热元件等易耗件) | |
使用注意事项 | · 石墨烯制备设备双温区滑轨式CVD系统炉管内气压不可高于0.02MPa · · 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度<1100℃ · 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) |