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大口径高温高压芯片退火管式炉

更新时间:  2024-04-11

产品型号:  LFT1200C 450D254

产品报价:  

所  在  地:  合肥市新站区颖河路22号

产品特点:  大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸(最大尺寸为8英寸)衬底退火处理,设备采用电阻丝为加热元件,保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型,电阻丝为内嵌式一体成型;该设备还集成了真空以及供气系统。

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产品概述

   大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸(最大尺寸为8英寸)衬底退火处理,设备采用电阻丝为加热元件,保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型,保温性能好,电阻丝为内嵌式一体成型,美观、节能;该设备还集成了真空以及供气系统,满足更多工艺条件要求。采用耐高温金属管为高温炉管,满足高温工作条件,也能满足真空或者一定的正压条件实验要求,是一款洁净的大尺寸样品热处理设备。

设备型号:LFT1200C450D254

额定电压:380V

额定功率:13KW

最高温度:1000℃

额定温度:900

升温速率:10℃/min

热电偶类型:K型热电偶

控温精度:±1℃

极限真空度(选件):1.0×10-3Pa(机械泵+分子泵)

加热元件:OCr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金)

炉管尺寸(可根据客户要求订制):内径245*600mm(含管堵)

外型尺寸(长×深×高):1900*700*2100mm














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