大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸(最大尺寸为8英寸)衬底退火处理,设备采用电阻丝为加热元件,保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型,保温性能好,电阻丝为内嵌式一体成型,美观、节能;该设备还集成了真空以及供气系统,满足更多工艺条件要求。采用耐高温金属管为高温炉管,满足高温工作条件,也能满足真空或者一定的正压条件实验要求,是一款洁净的大尺寸样品热处理设备。
设备型号:LFT1200C450D254
额定电压:380V
额定功率:13KW
最高温度:1000℃
额定温度:900℃
升温速率:10℃/min
热电偶类型:K型热电偶
控温精度:±1℃
极限真空度(选件):1.0×10-3Pa(机械泵+分子泵)
加热元件:OCr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金)
炉管尺寸(可根据客户要求订制):内径245*600mm(含管堵)
外型尺寸(长×深×高):1900*700*2100mm