简介:铝酸镧(LaAlO3)单晶是当前非常重要的大尺寸高温超导薄膜基片单晶材料。它对多种钙钛矿结构材料晶格匹配好,是外延生长高温超导薄膜和巨磁阻薄膜*的衬底材料,介电常数较低,微波损耗小,适用于制作高温超导微波电子器件(例如:远程通讯中的高温超导微波滤波器等)。
性能及参数 | ||
生长方法 | 提拉法 | |
晶体结构 | 六方(常温) | 立方(>435℃) |
晶格常数 | 六方a=5.357 Å c=13.22 Å | 立方a=3.821 Å |
颜色及外观 | 依退火状况而不同,由棕黄到褐色,抛光基片有自然孪晶畴。 | |
化学稳定性 | 室温下不溶于矿物酸,温度大于150℃时可溶于磷酸(H3PO4) | |
密度 | 6.52 g/cm3 | |
熔点 | 2080℃ | |
莫氏硬度 | 6.5mohs | |
热膨胀系数 | 9.4×10-6/℃ | |
介电常数 | 25 | |
正切损耗(10GHz) | ~3×10-4 @300k ~0.6×10-4 @77k | |
晶向 | <100>、<110>、<111> | |
晶面定向精度 | ±0.5° | |
边缘定向精度 | ±1° | |
斜切晶片 | 可按照客户需求,定制特殊方向 | |
尺寸(可按照客户需求,定制特殊尺寸) | 10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm、15×15×0.5mm等 | |
dia1″×0.5、dia2″×0.5等 | ||
抛光 | 单面抛光、双面抛光 | |
表面粗糙度 | <5 Å | |
包装 | 1000级超级净室100级超净袋或单片晶盒封装 |
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