设备描述:
MFC-5Z是一款多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜大可以承重1000Lbs,所以在与本公司大多数管式炉配套使用时,可将设备置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一个7"的触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
技术参数
名称 | 双通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
质量流量控制器 | 工作温度:5~45ºC 重复精度: ±0.2%F.S. | 工作温度:5~45 ºC | 工作温度:5~45 ºC 重复精度: ±0.2%F.S. | 工作温度: 5~45 ºC |
输入电源 | AC 220V/50Hz单相 | |||
功率 | 23W | |||
PLC触摸屏 | · 各通道的气路设定和查看都集中在一个7"的触摸屏上 · RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上,进行远程控制
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机械压力表 | · 有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接 · 量程:-0.1~0.15 MPa | |||
针阀 | 316 不锈钢 | |||
通气管道 | · 内部连接管道为Φ不锈钢管 · 外部通气管道为Φ聚四氟管 | |||
混气罐 | Φ80X120mm | |||
截止阀及配件 | ·316不锈钢针阀 Φ6mm 不锈钢管 | |||
外形尺寸 | 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H) | |||
质量认证 | CE认证 | |||
质保期 | 一年质保期,终身维护 |