等离子清洗机是将物质从低能聚集态转变为高能聚集态。它将从外部提供能量（如加热、电场、辐射等）。当固体转化为液体或液体转化为气体时，每个粒子需要0.01ev（1eV=1.6022×10-19焦耳）的能量。当气体进一步吸收外界能量时，分子的热运动进一步加强，分子离解成原子，原子中的电子获得足够的能量脱离电子而成为自由电子。

　　气体被电离，被电离的气体中含有大量的电子、离子以及部分中性粒子（原子和分子），其中电子和离子的电荷数差不多相等，宏观上或平均意义上它是电中性的。

　　本产品一般可分为常压（常压）等离子清洗设备和真空（低压）等离子清洗设备。前者是在开放空间或半封闭状态下的大气放电，后者是在全封闭空间中的低压辉光。从微观分析来看，无论是哪种形式，等离子体的形成过程基本相同

　　等离子清洗机主要依靠等离子体中活性粒子的“活化”来去除物体表面的污渍。就反应机理而言，等离子体清洗通常包括以下几个过程：无机气体被激发成等离子体态；气相物质吸附在固体表面；被吸附基团与固体表面的分子发生反应，形成产物分子；无机气体被激发成等离子体态；气相物质吸附在固体表面，吸附基团与固体表面分子反应形成产物分子；

　　对产物分子进行分析，形成气相；反应残渣与表面分离。等离子清洗设备的特点是它可以处理金属，半导体，氧化物和大多数聚合物材料，如聚丙烯，聚酯，聚酰亚胺，聚氯乙烯，环氧树脂，甚至聚四氟乙烯，无论是何种类型的基板处理。它还可以清洗整个、局部和复杂的结构。

　　等离子清洗机中产生等离子体的装置是将两个电极放置在密封容器中形成电场，利用真空泵达到一定的真空度。随着气体越来越稀薄，分子之间的距离和分子或离子的自由运动距离也越来越长。在正负电场的作用下，它们碰撞形成等离子体。这些离子有足够的活性和能量来破坏几乎所有的化学键，并在任何暴露的表面上引起化学反应。